光学特气具有广泛性APP于半导、微光学和想关的太阳的光能动力电池等智能化产业链产业链，或用做复合膜火成岩、刻蚀、夹杂着、钝化、家电清洗，或用做载气、庇护工作氛围一全类型。随着半导和微光学本事向极高性、极高集成式度發展，对光学特气的含量请求了愈来愈越高的请求，光学特气的的处理更加关键点和基本。日前国产货的较高含量处理本事注意信任进口商，自己的本事水准考试（6N）与国际上高级新技艺(8-9N)有越大一定差距。本工程工程将设计构思和开发一全类型增长效率、高存储量、高首选性、低直接费用的环保型納米处理剂，对MO源、惰性有害汽体、氢化物有害汽体、反馈性有害汽体、生锈性有害汽体等8个全类型，50多重光学特气实现末梢处理，使光学特气含量由ppm级增长到ppb、ppt级，并将特气视频传输和管理装置对有害汽体含量的干扰调至世界最大，才能极大值地不断提高工艺设备本事，下降护肤品缺陷报告， 增长制造的产能，拥有下一带半导、微光学各类想关高本事發展的要。本工程工程将养成有自主化的知识土地产权的较高含量光学特气处理本事，来解决较高含量光学特气处理该基本本事的国产货化问題。